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曝光機- 維基百科，自由的百科全書。

可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長激光和類似投影機原理的步進式光刻機（英語：stepper）或掃描式光刻 ...： 。

[PDF] 第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏。

2.2.3 掃描式曝光機（Scanner）. 曝光是微影製程中最重要的一環，其原理並不複雜，但是因為尺寸的微小以精度的要. 求，使得曝光製程在技術上變的相當困難，由於IC 都是 ...： 。

光刻機（Mask Aligner) 又名 - 中文百科知識。

光刻機（Mask Aligner) 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等。

... 高端的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種，解析度通常在十幾納米至幾微米之 ...： 。

掃描式曝光機原理 - 軟體兄弟。

掃描式曝光機原理,... 曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長激光和類似投影機原理的步進式光刻機（英語：stepper）或掃描式光刻機（英語：scanner），獲得比模板更小的 ...： 。

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此為步進式曝光機的外觀，晶圓由步進式曝光機側邊晶圓傳輸區自動送入曝光。

步進機的原理是將所要的積體電路結構圖形，先以1:5（或1:4）的放大比例製做在光罩上，再把光 ...： 掃描 。

尼康| 业务范围| 精机事业 - Nikon。

集成电路芯片和高分辨率平板显示器是推动IoT和AI进步的关键。

尼康从事这些部件的电路图曝光制造系统的研发和生产，助力智能社会的创建。

... FPD扫描式曝光机FX-103SH.： 原理? 。

[PDF] 低成本有機光阻剝除劑於半導體封裝製程應用。

第二章動機目的及原理. ... SEM: Scanning Electron Microscope, 掃描式電子顯微鏡 ... 塗佈光阻後的曝光可以轉印圖案到光阻表面，曝光條件需視光阻性質而定，不.。

圖片全部顯示。

[PDF] 搭配國立配光場強立中山大碩利用勞強度均勻大學光電碩士論文勞氏 ...。

3-3 掃描式電子顯微鏡. ... 圖2-14 折射式光束整束器與準直器結合光學掃描系統示意圖. ... 半導體微影製程的原理是將一層感光材料覆蓋在晶片上，使雷射光源經過光.。

[PDF] 中華大學碩士論文。

本論文將依照以下章節分別闡述：第二章的部份是敘述疊對(overlay)原理，2.1. 節簡單的介紹了微影工程，所謂曝光機整合系統包含了晶圓軌道機(track)及曝光機. (stepper/ ...：